国立大学法人 豊橋技術科学大学 ベンチャー・ビジネス・ラボラトリー(Venture Business Laboratory, Toyohashi University of Technology

共同利用設備

設置室名 主要設備
1F
  機能集積化デバイスプロセス室
ICPエッチング装置(住友精密)
ICPエッチング装置(ULVAC)
反応性イオンエッチング装置(SAMCO)
反応性イオンエッチング装置(ULVAC)
XeF2-Siエッチング装置
3元スパッタ装置
プラズマCVD装置(CMOS準拠)
プラズマCVD装置(汎用)
4インチ水素アニール炉
4インチ汎用酸化/アニール炉
2インチ酸化炉
2F
  共同利用研究室 1
汎用蒸着装置
EB蒸着装置
汎用スパッタ装置
両面マスクアライナ
コンタクトマスクアライナ
走査プローブ顕微鏡
2F
  共同利用研究室 2
紫外可視赤外分光光度計
プリント基板作製装置
スパッタコータ
2F
  共同利用研究室 3
蛍光寿命測定装置
超伝導マグネット
分光エリプソメータ
汎用プローバシステム
波長可変ホトルミネセンス測定装置

施設概要図