国立大学法人　豊橋技術科学大学　固体機能デバイス研究施設

固体機能デバイス研究施設における研究展開と主な成果

豊橋技術科学大学固体機能デバイス研究施設におけるデバイス研究の展開：LSI技術、機能素子材料技術、センサ・MEMS技術の有機的結合による多種多様な独創的高性能・高機能センサ

豊橋技術科学大学固体機能デバイス研究施設で作製したスマートセンサチップの例：物理、化学、生体用センサおよびそれら素子からの信号処理を行う集積回路まで、研究対象は多岐にわたる